精密零件加工和切削主要包括超精密车削、镜面磨削和磨削。它是一种超精密车床的微型车削，配有精细研磨的单晶金刚石车刀。切割厚度仅约1微米。它通常用于处理有色金属材料的球形、非球面和平面镜。高精度、表面经过高度抛光处理。组件。例如，用于处理核聚变装置的直径为800mm的非球面镜具有0.1μm的最大精度和Rz0.05μm的表面粗糙度。

精密零件的特殊加工精度为纳米级，即使原子单位（原子晶格距离为0.1-0.2nm）为目标，也不能采用超精密零件的加工方法。有必要使用特殊精密零件加工的方法，即应用化学。可以、电化学能量、热能或电能等，使这些能量超过原子之间的键合能，从而消除工件表面之间某些原子的粘附力、键合或晶格变形，从而实现超 - 精密加工。这种加工有机械化学抛光。、离子溅射和离子注入、电子束曝光、激光束处理、金属蒸发和分子束外延。

精密部件加工方法的特征在于极其精细地控制去除或添加的表面层材料的量。然而，为了获得超精密零件加工的精度，它仍然依赖于精密的加工设备和精确的控制系统，并使用超精密掩模作为中介。例如，VLSI的制版是通过电子束在掩模上曝光光刻胶（见光刻），使光刻胶的原子在电子的撞击下直接聚合（或分解），然后聚合或未聚合。用显影剂溶解该部分以形成掩模。电子束曝光制版需要超精密加工设备，工作台定位精度为±0.01μm。

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